全國開設(shè)微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)的大學(xué)有北京航空航天大學(xué)、東莞理工學(xué)院、西北工業(yè)大學(xué)等，以下是具體大學(xué)名單一覽表，排名不分先后，希望對大家有所幫助。如有變動，還以學(xué)校最新公布的名單為準(zhǔn)。

微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機(jī)、電技術(shù)，尤其是微機(jī)械為基礎(chǔ)的，綜合多種學(xué)科領(lǐng)域技術(shù)的新型交叉學(xué)科。本專業(yè)的研究領(lǐng)域主要有微傳感器、微加速度計、微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微測量技術(shù)等。